三、坐标旋转功能：
坐标可根据被测物随意旋转定位，无需分度盘；
丰富的十字线颜色和线型；
内置计算器可方便计算被测元素杂坐标轴上的投影距离。
四、方便的SPC功能：
智能汲取技术可以直接复制数据到表格中，可由SPC直接调用；
图形和数据实时导出；
SPC模版需另外配置。
五、宏处理功能：
独创的嵌入式宏处理，在进行大批量重复测量时，提高效率5-10倍。
实时修正线性误差
通过软件技术实时修正因运动部件和光栅尺导致的线性误差，提高了测量精度。
六、主要技术指标：（iLX250型）

线性精度	±（ 2+L/200 ） um	台面最大载重	30Kg
精度	± 2um	机器自重	120Kg
重复精度	＜ 2um	X 行程	250mm
解析力	0.5um	Y 行程	150mm
测量速度	900mm/min	外行尺寸（ mm ）	500 × 630 × 800
数码变倍	4 倍	台面尺寸（ mm ）	500 × 360
CCD	Watec 或 Sony	放大倍数	10-100( 选配 )